高纯铝以及铝合金靶材:
1、产品包括:Al、Al30ppmSi、Al0.5Si、Al0.75Si、Al0.8Si、Al1Si、Al0.5Cu、AlSiCu等;
2、纯度为4N~5N5;
3、不同的晶粒晶向满足客户的不同溅射需求;
4、能够和客户一起开发特制的各种类型长寿命靶材。
高纯钛靶材以及钛环:
1、产品包括:4N5钛、5N钛、低氧钛等;
2、不同的晶粒晶向满足客户的不同溅射需求;
3、能够为客户提供不同类型特制的长寿命靶材和环件。
高纯铜、铜合金靶材以及铜环、铜阳极:
1、产品包括:4N铜、4N5铜、5N铜、6N铜以及铜铝、铜锰等合金靶材、纯铜以及CuP阳极材料、纯铜的环件;
高纯钽、钽合金靶材以及钽环:
1、产品包括:3N5到5N的各种纯度钽靶材、钽环以及各种寿命和规格的钽靶材和钽环;
2、提供钽环的翻新服务,为客户带来成本的节约。
特殊金属及合金靶材,产品包括:高纯钨、钨钛、钨硅、高纯硅、高纯镍、镍合金、高纯铬及铬合金、钴靶材等。
G4.5、G5、G5.5、G6、G8.5、G10.5代超高纯铝、铜、钼、钛靶材;
PVD机台用防着板、坩埚以及CFRP液晶玻璃搬运部件。
三、半导体用精密零部件
PVD机台用Clamp Ring、Collimator;
CVD、etching机台用face plate、shower head等;
化学机械研磨机台用金刚石研磨片、Retaining Ring等。
江丰电子研发生产的超高纯金属溅射靶材,填补了中国在这一领域的空白,结束了产品依赖进口的历史,满足了国内企业不断扩大的市场需求,成功获得了国际一流芯片制造厂商的认证,并在世界先端的工艺实现批量供货,打破了美、日跨国公司的垄断格局,成为电子材料领域成功参与国际市场竞争的中国力量。目前江丰电子的销售网络覆盖欧洲、北美及亚洲各地,产品客户有台积电、联华电子、格罗方德、中芯国际、索尼、京东方、华星光电、SUNPOWER 等国内外知名半导体、平板显示及太阳能电池制造企业。
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